“近年来，清华大学与淄博市合作，高标准建设了MEMS研究院和国际先进的6英寸硅基MEMS中试代工平台。目前，我国正在进行MEMS相关产业应用布局，产业发展处于爆发的前夜，建议山东将其作为一项重点战略新兴产业来支持。”9月28日下午，“儒商大会2018”嘉宾恳谈会上，清华大学副校长、中国工程院院士尤政围绕MEMS在山东的发展，作了接近8分钟的发言。

　　这8分钟，几乎凝聚了尤政对山东近十年的关注、投入与深情。有人评价他，虽不是地地道道的山东人，但这些年来与山东的持续合作，早已成为大家眼中的“山东人”。

　　尤政，我国机械电子工程专家，在国内率先开展微纳技术及其空间应用研究，率先开展微卫星技术创新与工程实践。2017年9月12日，尤政院士工作站在淄博正式成立，他与山东的联系更加紧密。而这一工作站的建立，也充分发挥了以尤政院士为核心的研发团队在国内外MEMS领域的旗帜领军作用，凝聚高端智力作用于淄博市MEMS和集成电路产业的跨越式发展。

　　“自从2009年始与淄博市接触，到如今院士工作站成立、创新产业园签约，我与淄博的情缘可谓日久弥深。”这是尤政在院士工作站揭牌及项目签约仪式上讲话的开场白。时间差不多过去整整一年，这期间他曾多次来到工作站，直接指导站上的工作，并推动首届中国（淄博）MEMS产业战略高峰论坛在今年3月成功举办。

　　在山东设立院士工作站，致力于MEMS的产业化应用，尤政乐此不疲。他告诉记者，MEMS作为一种智能微系统技术，具有微型化、低成本、功耗低、高可靠等特点。基于MEMS技术创造的智能传感器系统，一般被称为“智能灰尘”。作为一项革命性的新技术，MEMS在装备制造、高新技术产业等方面应用广泛，关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全等，这对山东的新旧动能转换也非常有利。

　　他向记者举例“智能灰尘”在山东的一项应用。山东知名企业歌尔股份，是一家从事电声研发和制作的企业，其通过MEMS技术制作的硅麦克风，直接创造了百亿元的产值。目前，传统驻极体麦克风90%的市场已经被MEMS技术所替代。目前，歌尔股份已成立专门的微电子公司，并将MEMS传感器作为公司重要的产品战略方向。

　　“智能灰尘”正改变着中国制造业的发展。“从2.0补课，3.0普及，4.0示范，目前国内MEMS技术正在从技术研究逐渐走向产品化，一些企业正在进行开发和利用。清华大学和北京大学在淄博均建有MEMS中试线，目的就是着眼于从系统上解决应用上的各种问题。”尤政说。

　　那为何选择在淄博建立院士工作站，并落地“淄博国家高新区MEMS研究院与清华大学未来芯片技术高精尖创新中心”和“清华同方MEMS创新产业园”等多个项目？尤政道出了其中的秘密：“过去很多年，我一直高度关注着山东以及淄博高新技术产业的发展。这些年来，最能打动我的，就是当地政府对于人才和技术发展的重视。这也就成为我致力于将MEMS产业在淄博落地生根的关键原因。”

　　“淄博的产业结构在不断变化，这离不开当地政府对技术创新的追求和开拓发展的魄力。”尤政说，淄博通过与包括清华大学在内的各高校的合作，把一些创新的技术引入到当地，再通过与当地工业的融合，排除万难，方建成了MEMS产业平台。

　　在平台运行的时候，尤政曾说过一句话：“项目的推进虽然苦乐交融，但非常有意义。我愿意和清华大学一起带个头，和淄博一起奋斗，把创新链、产业链之路走好，为开创高校的科研成果怎样真正更好地服务于地方经济的发展之路作出表率。”

　　如今，这一产业平台运行成果初显。其中，淄博高新区MEMS产业园设计生产的MEMS硅微陀螺、继电器、硅微加速度计等已处于世界领先水平，占领了智慧产业的高地。

　　尤政除了将MEMS技术落地淄博外，还代表清华大学与潍柴动力就智能制造达成合作，并在青岛落地“清华——青岛大数据工程研究中心”、“清华青岛艺术与科学创新研究院”等项目，全方位支持山东的建设与发展。

　　“关于MEMS，山东是第一个吃螃蟹的地方，这代表着山东正走在国内MEMS产业化领域的最前端。”尤政表示，抓住机遇，发挥优势，山东可以将这一技术直接应用于各个领域中来，特别是“十强”产业中的高端装备、新能源、医养健康、现代海洋和现代高效农业等与MEMS相融合，那将为山东新旧动能转换插上一双腾飞的翅膀。