下班的工人换回各种颜色的外套,走过设计独特的全封闭通道。

工人孙娟(右)、高珊珊通过显示屏查看设备运转状态。

硅电容传感器车间里,工人正在对压力芯片进行目视检验。制造传感器所用的芯片就贴在这个形似唱盘的装置上,目前芯片仍然依赖进口。

工程师展示制作传感器用的芯片和芯片载片。镊子夹着的小粒就是芯片,它是传感器的核心。

工程师手拿传感器芯片载板,放在高倍显微镜下,观察内部金丝焊接情况。

硅电容传感器的半成品被高倍显微镜拍摄后放映到电脑屏幕上,高倍显微镜是传感器生产车间内最常见的设备。

正在进行安装调试电路的硅压阻传感器,硅压阻传感器是由硅电容传感器加装外围设备而成,是遥测水位计的主要部件。

□记　者　卢鹏　

通讯员　学东　乃德　兰英　报道

看着这些画面,可能有人会问,这是美国硅谷,还是科幻电影?都不是。这是我省一家位于乡镇驻地的民营企业。在大多数人不经意间,类似的高科技企业,已如内敛却华丽的花朵,在我们身边静静绽放。

邹平县韩店镇,距济南90公里车程,在当地,这家名为“昊润”的传感器生产企业,无论规模还是名气,排名并不靠前。“不过科技水平挺高的,去看看吧。”韩店镇镇长段书国说。

进入“昊润”厂区,经过曲折幽长的全封闭走廊、通道,上了几组楼梯,到达一处更衣室。在车间工人帮助下,记者换上隔离服。隔离服上下一体,为包裹住头发,有两层隔离帽,穿戴完成后整个人只露一双眼睛在外面。听着自己的呼吸声,记者踩过静电释放装置,经过狭窄的气动除尘通道,之后进入一组全封闭的车间。这里灯光幽暗,空气微凉,有秩序地排放着一组组常人叫不出名号、也不知有何功能的精细设备。这是整个企业的核心部分,硅电容传感器车间。

“这里恒温,恒湿,十万级空气净化,设备和技术全部是进口的。”硅电容传感器车间主任梁乃辉说。他的语气中有自豪,也有一点对“全部进口”的不服气。硅电容传感器车间负责将原始芯片和ASIC电路(专用信号处理电路)焊接到专用壳体上,经过复杂工艺,制成3D-MEMS硅电容传感器。

“3D-MEMS”即“三维微电子机械系统”,是将硅加工成三维结构,其封装和触点便于安装装配,这是目前世界上最先进的硅电容传感器制作技术。用这种技术制作的传感器具有极好的精度、极小的尺寸和极低的功耗。

这家土生土长的企业与万里之外的芬兰高科技企业达成深度合作,传感器产业被列为国家战略信息型产业,目前拥有国家级实验室,自主知识产权和专利14项。

昊润的硅电容车间每年能生产150万片3D-MEMS硅电容传感器,绝大部分出口到芬兰、瑞士、瑞典、美国等发达国家,带来6000万元的销售收入。

“年轻人爱戴的智能运动手表就要用到我们的传感器。”企业销售经理滕小强说,昊润生产的是压力传感器,可感知压力形成数据信号,是制作诸如心脏起博器、遥测水位计、家用气象站等多种高科技电子设备的核心部件。

他们生产的传感器有一小部分交到本企业的其他车间,制作成遥测水位计。目前昊润每年可生产约5000套遥测水位计,产值约5000万元。产品销往全国各地,用于遥测地下水位。

因为自动化程度高,加上科技研发及管理人员,整个“昊润”只有82人,员工多数有大学本科学历,平均年龄28岁,大约一半员工来自邹平本地。其中,每年带来6000万元销售收入的硅电容传感器车间平时只有5名操作人员。

科技投入需要花心思,投大钱,换来的是区域品牌和工业水平的“高大上”。谈到高科技产业,邹平县县长邹继刚说,“落实供给侧结构性改革,要从以前规模扩张的老路中走出来,坚持创新驱动”。当地有不少企业实现逆势蝶变,成为业界翘楚,科技创新成为内生动力。比如与中科院合作、做出清洁智能化制备高端装备用特殊钢的西王特钢,提供航空铝材的裕航合金,还有制定玉米油全国标准的长寿花等等。